[发明专利]一种掺杂ZnS靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110273556.8 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113136552A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 曾成亮;文崇斌;朱刘;胡智向 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;B22F3/14 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种掺杂ZnS靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将银粉和硫化锌粉体混合，球磨，过筛；(2)将步骤(1)所得粉体装入模具中，放入真空热压炉里；(3)预压；(4)成型：抽真空至真空度＜10Pa，升温到700～1050℃，保温20～60min，同时进行加压，加压压力为90～150MPa，加压时间为60～120min，冷却，即得所述ZnS靶材。本发明通过在硫化锌中掺杂Ag元素的方法，提高HP‑ZnS靶材的导电性能；采用本发明所述方法制得的掺杂的ZnS靶材，其电阻率5000Ω.cm，密度98％g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 zns 制备 方法 | ||
【主权项】：
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