[发明专利]一种集成零模波导芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202110274336.7 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113109900B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 周连群;郭振;俞鹏飞;付博文;张芷齐;李传宇;李超;李金泽;张威;姚佳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/125;G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 徐律 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种集成零模波导芯片及其制备方法，集成零模波导芯片包括：衬底层，衬底层包括检测区和与检测区邻接的第一传输区；位于衬底层的检测区和第一传输区上的波导结构；位于检测区的波导结构上的阵列孔膜层，阵列孔膜层中具有若干纳米孔。集成零模波导芯片具有较高的集成度和较低的对准精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 波导 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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