[发明专利]一种用于产生低温等离子体的谐振重频高压脉冲电源有效
| 申请号： | 202110274524.X | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113037125B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 王永刚;孙懿;凌钧 | 申请（专利权）人： | 无锡复溪电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H02M9/04 | 分类号： | H02M9/04;H02M1/44;H03K3/57;H02M3/335 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 孙力坚 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于产生低温等离子体的谐振重频高压脉冲电源，涉及低温等离子体领域，包括：整流滤波模块、谐振模块、脉冲变压器和控制模块，谐振模块包括谐振电感、谐振电容和半导体开关，谐振电感的一端连接到整流滤波模块的输出正极端、另一端连接到谐振电容的一端和脉冲变压器的初级线圈的一端的公共端，谐振电容的另一端和脉冲变压器的初级线圈的另一端的公共端通过半导体开关连接到整流滤波模块的输出负极端，控制模块通过控制半导体开关的通断形成谐振脉冲电压并提供给脉冲变压器，脉冲变压器升压得到高压脉冲电压并输出给低温等离子体反应器，减少了半导体开关的使用数量，提高了稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 产生 低温 等离子体 谐振 高压 脉冲 电源 | ||
【主权项】：
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