[发明专利]一种蚀刻工艺废弃物资源化利用的方法在审
| 申请号： | 202110275551.9 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113023749A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 陈琪;郎超 | 申请（专利权）人： | 盛隆资源再生（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/16 | 分类号： | C01C1/16;C01B33/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蚀刻工艺废弃物资源化利用的方法，所述方法包括以下步骤：将蚀刻工艺产生的废气进行吸收，得到氟硅酸溶液；将蚀刻工艺产生的废液进行蒸发处理，得到氨气和蒸发浓液；将所述氟硅酸溶液与氨水混合，反应得到二氧化硅水合物和含氟含铵溶液，所述含氟含铵溶液返回与所述废液混合；将所述蒸发浓液进行冷却结晶，得到氟化氢铵产品。本发明所述方法通过将蚀刻工艺产生的不同相态的废弃物分别进行处理，废气转化为二氧化硅水合物，废液经过蒸发、冷却结晶进行氟化氢铵的回收，实现蚀刻工艺废弃物的资源化利用；所述方法工艺简单，所用原料及操作成本较低，可有效解决废弃物容易造成的污染问题，应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 工艺 废弃物 资源 利用 方法 | ||
【主权项】：
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