[发明专利]一种光学自由曲面元件全频段误差加工方法有效
| 申请号： | 202110275824.X | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN112975590B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 魏朝阳;李瀚捷;万嵩林;邵建达;万奎平;李尧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光学自由曲面元件全频段误差加工方法，集成气囊抛光、射流抛光、柔性光顺、自寻位加工等工艺技术，通过判断工件表面面形不同频段误差的截止频率来实现三种抛光工艺的快速切换完成全频段加工，解决了现有各种子孔径抛光技术应用于大口径、复杂自由曲面元件的全频域超精密加工各自存在中高频误差、难以适应高陡度曲率变化、不满足自由曲面反演映射与无交叉规划条件、工件位置标定复杂，未将多种功能集成到同一设备上导致的工艺衔接差、成本高以及智能化程度低等关键问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 自由 曲面 元件 频段 误差 加工 方法 | ||
【主权项】：
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