[发明专利]一种物体表面平整度检测方法及其检测设备在审
| 申请号： | 202110277617.8 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113155060A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王振兴 | 申请（专利权）人： | 深圳市度彼电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 深圳市凯达知识产权事务所 44256 | 代理人： | 刘大弯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公明办*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种物体表面平整度检测方法及其检测设备，包括如下步骤：设置一可拆卸固定单元(15)将激光发射平台(21)固定在所述被测物体表面上，所述可拆卸固定单元(15)包括电池(13)、真空泵(10)、连接软管(12)和海绵体(11)；其中，所述海绵体固定粘贴于所述固定单元的工作面上；当所述工作面贴紧所述被测物体表面(20)时，所述工作面与所述被检测物体表面(20)以及所述海绵体形成一封闭的腔体；所述真空泵通过所述连接软管将所述封闭的腔体抽真空，形成负压吸附腔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物体 表面 平整 检测 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
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