[发明专利]一种单晶炉氩气尾气处理装置及其处理方法在审
| 申请号： | 202110283369.8 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113083003A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 朱刚;苏勇刚;郝文炳 | 申请（专利权）人： | 朱刚;苏勇刚 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/62;B01D53/46;B01D53/00;B01D53/02;B01D53/047;B01D53/30 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 史冬梅 |
| 地址： | 116011 辽宁省大连*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉氩气尾气处理装置及其处理方法，属于惰性气体净化回收技术领域，能够解决现有处理方式中由于经过加氢除氧工艺而导致安全隐患较大的问题。所述装置包括：第一反应器的入口连接有尾气输送管和空气输出管；尾气输送管上设置流量计；空气输出管上设置有调节阀；第一反应器中填装有第一催化剂；第二反应器和第三反应器中均填装有第二催化剂；第一氧分析仪连接在第一反应器的出口处；第二氧分析仪连接在第二反应器的出口处；第一一氧化碳分析仪连接在尾气输送管上；第二一氧化碳分析仪连接在第一反应器的出口处；第三一氧化碳分析仪连接在第三反应器的出口处；控制单元用于调节调节阀的开度。本发明用于单晶炉氩气尾气处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉氩气 尾气 处理 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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