[发明专利]一种石墨烯的制备方法有效
| 申请号： | 202110283533.5 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN112938946B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 刘科海;乐湘斌;张志强;何梦林;黄智;王恩哥 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室;中科晶益（东莞）材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C01B32/196 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种石墨烯的制备方法，属于石墨烯材料技术领域。石墨烯的制备方法包括：沉积步骤和刻蚀步骤。沉积步骤包括：通过化学气相沉积在衬底上沉积石墨烯。刻蚀步骤包括：采用水蒸气对石墨烯表面的无定形碳进行刻蚀，水蒸气的温度不低于750℃。该制备方法能够有效去除石墨烯表面的无定形碳，使得生长得到的石墨烯薄膜的覆盖率高、质量佳且洁净度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 制备 方法 | ||
【主权项】：
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