[发明专利]真空吸笔在审
| 申请号： | 202110284353.9 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN112864081A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 马俊;蔡甦谷 | 申请（专利权）人： | 苏试宜特（深圳）检测技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;G01R31/28;G01R1/02;F21V33/00;F21Y115/10 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区新安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种真空吸笔，包括：真空吸笔本体，所述真空吸笔本体具有相对的一笔头端和一笔尾端；套管，可拆卸地套设于所述笔尾端，所述套管连接有连接管；安装框，连接于所述连接管，所述安装框的框口朝向所述笔头端设置；凸透镜，安装于所述安装框内；以及补光灯，安装于所述安装框，所述补光灯的光线朝向所述笔头端照射。本发明解决了较小的芯片样品采用常规的真空吸笔取放容易造成摆放方向错误的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
