[发明专利]用于等离子体辅助低真空带电粒子显微术的方法和系统在审
| 申请号： | 202110285849.8 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113495083A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | J·比肖普;D·托通简;C·埃尔巴达维;C·罗波;M·托思 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;H01J37/28;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 钟茂建;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于等离子体辅助低真空带电粒子显微术的方法和系统。本公开提供了用于在低真空下用带电粒子束对样品进行成像的各种方法和系统。在检测器的检测区域中提供磁场。在所述检测区域中提供气体和等离子体，同时检测从所述样品发射的带电粒子。基于检测的带电粒子形成样品图像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 辅助 真空 带电 粒子 显微 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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