[发明专利]一种自组织纳米结构氧氮化物硬质涂层及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202110287357.2 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113174562A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张腾飞;谭君国;王启民 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于涂层材料技术领域，公开了一种自组织纳米结构氧氮化物硬质涂层及其制备方法和应用。所述涂层由下到上包括基体、AlTiN过渡层和AlCrSiON自组织纳米多层；AlCrSiON自组织纳米多层涂层由富氮层和富氧层交替自组织形成，其中富氮层为非晶包裹纳米晶的纳米复合结构。本发明自组织纳米结构氧氮化物涂层可结合氮化物涂层的高硬度、高韧性和氧化物涂层高热化学稳定性、高耐磨性的优点；本发明所采用的制备方法和技术操作方便，工艺简单，过程可控，沉积速度快，成本低，适用于大规模的工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组织 纳米 结构 氮化物 硬质 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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