[发明专利]一种碳化硅复合靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110287506.5 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN112811908A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王巨宝;单长滨;王学泽;王科 | 申请（专利权）人： | 上海戎创铠迅特种材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;C04B35/622;C04B35/645 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 201401 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碳化硅复合靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将碳化硅粉末、碳粉、粘结剂和溶剂混合进行湿法球磨，得到混合浆料；将混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉末；将造粒粉末进行冷等静压成型，得到靶材坯料；将靶材坯料进行热压烧结，得到碳化硅复合靶材。本发明所述方法根据原料的特性选择湿法球磨工艺，再经喷雾造粒、冷等静压成型，得到粉末混合均匀、致密度高的坯料，避免热压烧结过程中出现粉末外溢和喷出的问题；再经对热压烧结工艺的控制，得到质量稳定，性能一致的靶材产品，满足后续溅射使用的性能要求；所述方法操作简单，连贯性好，成本较低，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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