[发明专利]一种掩膜板的张网方法有效
| 申请号： | 202110288740.X | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113061841B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 马超;黄世花;张文畅;李烁辉;杜志林;易烁文;韩帅 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板的张网方法，包括：获取掩膜板框架所含各边框的边界参数；根据各边框的边界参数确定坐标原点，并根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数，确定与两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴，与X坐标轴垂直的方向为Y坐标轴，以建立掩膜板框架的坐标系；调节掩膜板框架与张网设备的相对位置，直至掩膜板框架的坐标系与张网设备的坐标系重合，实现掩膜板框架与张网设备之间的对位；在张网设备的坐标系下，采用张网设备将掩膜板固定在掩膜板框架上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 方法 | ||
【主权项】：
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