[发明专利]一种直线位移测量装置和方法有效
| 申请号： | 202110289414.0 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113029001B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 于海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于光电位移精密测量技术领域，公开了一种可消除余弦误差的高精度直线位移测量装置，包括：读数头、标尺光栅、输出电缆。其中，读数头包含：横向传感器、纵向传感器、平行光源、处理电路；标尺光栅包括：横向码道、纵向识别标线。平行光源发出的光，照射到标尺光栅，将标尺光栅上的图案映射到读数头上的图像传感器上。横向传感器通过识别横向编码，得到横向的直线位移；纵向传感器通过识别纵向标线的位移变化量，得到纵向位移；处理电路，将横向位移和纵向位移合成，得到读数头移动的真实位移。通过采用二维位移量合成的方法，有效的消除由于测量轴和光栅轴不同轴而引起的余弦误差，实现高精度的直线位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直线 位移 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110289414.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
