[发明专利]薄膜压电感应元件及其制造方法、感测装置以及终端有效
| 申请号： | 202110290271.5 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113066924B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 叶颖隆;张志鹏;林信诚 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/25;H01L41/277 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请涉及薄膜压电感应元件及其制造方法、感测装置以及终端，所述薄膜压电感应元件包括叠置的两压电结构及位于两压电结构之间的粘接层；压电结构由叠置的两导体层及位于两导体层之间的压电薄膜层组成；每一压电结构设有内接端部，且内接端部设置于粘接层内以使一导体层与另一压电结构的一导体层相抵接；两压电结构的内接端部于粘接层内相分离设置。一方面仅需采用邦定两次即可，减少了邦定次数及相关工序，提升了邦定效率；另一方面无需连接于叠置所形成的层结构内部，易于实现邦定工艺，极大程度地降低了邦定失败率，且进一步提升了邦定效率；再一方面有利于避免传统工艺容易导致电性不良的问题，保证了产品的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 感应 元件 及其 制造 方法 装置 以及 终端 | ||
【主权项】：
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