[发明专利]一种用于水体温盐深检测的集成微纳传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110290422.7 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113138049A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 金庆辉;王振宇;郜晚蕾;管轶华;车啸婷 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;G01L9/06;G01K7/22;G01N27/06 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理有限公司 33226 | 代理人： | 陈其明 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 提供一种用于水体中温度、电导率和压力检测的温盐深集成微纳传感器及其制作方法，包括键合在一起的硅基片(1)与玻璃基片(2)，硅基片(1)上分别设置温度传感器(3)、压力传感器和电导率传感器(4)；在压力传感区域对称设置经离子注入掺杂而形成的2个横向导电区域(15)与2个纵向导电区域(16)，经金属导电连接线相连接，使各导电区域的电阻值相同，形成惠斯通电桥，2个横向导电区域(15)与2个纵向导电区域(16)分别作为该惠斯通电桥的四个桥臂，硅基片(1)的键合面在压力传感区的背面形成真空压力槽(5)，形成遇压变形的压力敏感膜(17)，受压变形而产生压阻效应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 水体 温盐深 检测 集成 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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