[发明专利]微型超级电容器的三维叉梳微柱阵列电极结构制备方法在审
| 申请号： | 202110290502.2 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113035591A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 尹亚江;王晓峰;尤政 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01G11/86 | 分类号： | H01G11/86;H01G11/26;H01G11/28 |
| 代理公司： | 北京国林贸知识产权代理有限公司 11001 | 代理人： | 李富华 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于微能源器件制作技术领域的一种微型超级电容器的三维叉梳微柱阵列电极结构制备方法，所述微型超级电容器采用ICP刻蚀工艺，设计制备出叉梳式微柱阵列电极结构，在叉梳电极结构表面溅射一层金作为集流体，继而在金表面沉积活性电极薄膜，制备出对称式微型MEMS超级电容器。通过叉梳式微柱阵列电极结构，有效提升了电极比表面积，降低了电极间阻抗，有利于其他MEMS器件的集成，为MEMS微系统可靠供电，拓宽了微型超级电容器的应用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 超级 电容器 三维 叉梳微柱 阵列 电极 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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