[发明专利]生成可用于检查半导体样本的训练集有效
申请号: | 202110291440.7 | 申请日: | 2021-03-18 |
公开(公告)号: | CN113870170B | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | E·本巴鲁克;S·埃尔卡亚姆;S·科恩;T·本-什洛莫 | 申请(专利权)人: | 应用材料以色列公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06V10/764;G06V10/82;G06N3/04;G06N3/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖;张鑫 |
地址: | 以色列瑞*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种生成用于训练可用于样本检查的深度神经网络的训练集的系统和方法。方法包括:针对组中的每个给定训练图像:i)生成第一批训练面片,包括:将给定训练图像裁剪成第一多个原始面片;以及扩充第一多个原始面片中的至少一部分以便模拟由样本的物理过程导致的变化;以及ii)生成第二批训练面片,包括:在给定训练图像上移位多个第一位置以获得第二多个原始面片,以及重复对第二多个原始面片进行扩充以生成第二多个扩充面片;以及将对应于每个给定训练图像的至少第一第二批训练面片包括在训练集中。 | ||
搜索关键词: | 生成 用于 检查 半导体 样本 训练 | ||
【主权项】:
暂无信息
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