[发明专利]用于硅基光波导放大器和激光器的增益材料及其制备方法有效
| 申请号： | 202110291566.4 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113113844B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王兴军;王博;周佩奇 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01S5/30 | 分类号： | H01S5/30;H01S3/16 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 钱云 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于硅基光波导放大器和激光器的增益材料及其制备方法，所述增益材料为掺杂了铋元素的铒化合物。本发明通过在传统增益材料铒化合物中引入元素铋，可以有效降低铒化合物结晶所需的退火温度，使得其能在较低退火温度下实现发光，更有利于片上集成，而且降低增益材料的退火温度，有利于提升增益材料的质量，降低材料表面粗糙度，从而减小传输损耗，也更有利于与传统CMOS工艺兼容。同时，引入元素铋也能提升增益材料的光致发光强度，进一步提升增益系数。即本发明发现了一种低制备温度、高发光强度的增益材料，更有利于实现硅基光波导放大器和激光器，为硅基光电子技术的发展起到了推动作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅基光 波导 放大器 激光器 增益 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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