[发明专利]基于半导体附属设备的信息采集监控系统在审
| 申请号： | 202110292034.2 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113093637A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 杨春涛;张坤;杨春水;蔡传涛;席涛涛;宁腾飞;王继飞;闫潇;章文军;陈彦岗 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 吴欢燕 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，包括服务器、警报装置和多个附属设备，每个附属设备均包括控制器，各控制器均与服务器连接，服务器与警报装置连接，控制器用于采集附属设备的信息，服务器用于储存并处理信息，警报装置根据服务器发送的信息进行警报。控制器通过网络将采集到的信息数据传输到服务器中进行数据存储，警报装置通过与服务器通讯，服务器将报警数据发送给警报装置，警报装置发出报警，以此实现对附属设备的实时数据监控、报警事件监控和处理、历史数据查询。针对设备报警事件，可以通知到工作人员，使工作人员第一时间了解到设备发生故障，及时处理问题设备，快速复机保证生产。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 半导体 附属 设备 信息 采集 监控 系统 | ||
【主权项】：
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