[发明专利]一种悬臂混合式干式真空泵有效
申请号: | 202110292071.3 | 申请日: | 2021-03-18 |
公开(公告)号: | CN113048056B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 林峰跃 | 申请(专利权)人: | 上海樊容工业技术中心 |
主分类号: | F04C23/00 | 分类号: | F04C23/00;F04C18/12;F04C18/16;F04C25/02;F04C27/00;F04C29/02 |
代理公司: | 重庆利律知识产权代理有限公司 50275 | 代理人: | 邹成娇 |
地址: | 200000*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种悬臂混合式干式真空泵,包括悬臂腔与非悬臂体,其中:非悬臂泵体是由若干个泵腔串联而成的泵腔组,悬臂腔与非悬臂体的任意相邻部件之间采用嵌入式定位;非悬臂体内的各泵腔以及悬臂腔通过气路串联,非悬臂体和悬臂腔的下方设置有底部连接件作为独立的气体连接部件,底部连接件与悬臂腔和非悬臂体均为可拆卸连接,本发明设计合理、结构紧凑,底部连接件可以给沉积物预留足够的堆积空间,同时可以自由拆卸、清理、检修、维修以及更换,而不会出现堵塞气流通道;相邻部件之间不再需要在侧面配打定位销孔来定位,进而克服了传统的干式真空泵内置在泵腔的气流通道狭小,且无法进行洗涤维护而导致故障的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 悬臂 混合式 真空泵 | ||
【主权项】:
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