[发明专利]一种大功率射频电源系统有效
| 申请号： | 202110292832.5 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113064368B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 陈操;陈海明;汪黄根;郑焕生 | 申请（专利权）人： | 科海技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;H03F3/189;H03F1/30 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 吴金水 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种大功率射频电源系统。所述大功率射频电源系统包括射频信号发生模块和射频功能模块，所述射频信号发生模块和射频功能模块之间进行电连接。所述射频信号发生模块包括数字控制模块、转换模块、第一V/I检测模块和射频信号处理模块；所述射频功能模块包括功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块。所述大功率射频电源系统还包括控制面板模块、状态显示模块、匹配通讯模块、接口扩展模块、温度检测模块、散热模块和电源模块。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 射频 电源 系统 | ||
【主权项】：
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