[发明专利]一种铝纳米粒子制备装置、制备方法及其应用在审
| 申请号： | 202110293371.3 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113046706A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 林卿;宋安然;杨扬;刘方方;施允 | 申请（专利权）人： | 宿迁学院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F9/12;B82Y40/00;C23C14/18 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 施恩 |
| 地址： | 223800 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝纳米粒子制备装置，包括腔体、密封罩，腔体上安装有凸透镜玻璃腔和平面镜玻璃腔，凸透镜玻璃腔和平面镜玻璃腔在同一水平面上，该水平面上还安装有第一电动旋转台和第二电动旋转台，第一电动旋转台上设置有第一基底底座，第二电动旋转台上设置有第二基底底座，第一基底底座上设置有铝靶，第二基底底座上设置有沉积基底；腔体上还设置有真空抽孔。一种铝纳米粒子制备装置的应用方法，其特征在于：实现超快激光对铝纳米粒子沉积基底的纳米级超分辨刻蚀。本发明装置可实现铝纳米粒子在真空环境中的制备，解决了铝纳米粒子在空气中被快速氧化并易发生爆炸，提高制备的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 粒子 制备 装置 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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