[发明专利]一种PVT法用碳化钽坩埚材料回收利用方法在审
申请号: | 202110295121.3 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN112939569A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨化兴软控科技有限公司 |
主分类号: | C04B33/132 | 分类号: | C04B33/132;C04B33/13;C01B32/914 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 陈润明 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区哈工大沿海*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种PVT法用碳化钽坩埚材料回收利用方法,它属于碳化钽坩埚材料回收技术领域。本发明要解决的技术问题为碳化钽坩埚材料的回收方法。本发明氮化铝晶体生长结束后,取失效的碳化钽坩埚,清理干净碳化钽坩埚内的氮化铝原料,将碳化钽坩埚破碎球磨后用氢氟酸和硝酸的混合溶液进行洗涤,然后经过乙醇超声清洗、烘干,得到碳化钽粉加入一定量的碳粉,进行碳化反应,然后在800‑850℃下,空气环境下煅烧,得到碳化钽微粉放入钽化钽坩埚中,并在2000‑2100℃下进行高温煅烧,得到5N级碳化钽微粉,经过冷等静压成型、煅烧,得到成型后的钽坩埚。本发明通过简易的方法,利用了失效坩埚材料,提高了坩埚的利用率,大幅节省了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 pvt 碳化 坩埚 材料 回收 利用 方法 | ||
【主权项】:
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