[发明专利]一种气相沉积装置及碳/碳复合材料的制备方法有效
| 申请号： | 202110296058.5 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN112830807B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 熊翔;张红波;左劲旅;熊杰;徐惠娟;王雅雷;杨波;江丙武 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83;C04B35/52;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 马德胜 |
| 地址： | 410000*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请提供一种气相沉积装置，包括底座、料板、沉积室，沉积室包括外筒体、排气口，以及设于外筒体内的排气套筒；排气套筒包括内筒和套设在内筒外部的套筒，内筒与套筒围合形成气流通道，且套筒的侧壁上设有通气孔；料板上设有第一进气孔，第一进气孔位于套筒和内筒之间；料板上还设有进气结构，进气结构包括进气孔阵列，进气孔阵列以排气套筒为中心呈放射状分布；进气孔阵列远离排气套筒的一侧设有第四进气孔。该设备能够有效控制沉积过程中气体的流动方向，使其与待处理坯体充分接触。另外，本发明还提供一种利用该设备制备碳/碳复合材料的方法，包括确定碳源气体流量大小的准则及随CVD次数增加而递减的原则。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 装置 复合材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
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