[发明专利]一种基于二维光栅耦合的偏振无关型电光调制器

摘要

本发明提供了一种基于二维光栅耦合的偏振无关型电光调制器，自下而上依次包括衬底、下包层、硅器件层、上包层，以及在硅器件层上刻蚀形成的八个模斑转换器和四个硅基光波导、两个四通道输入\输出二维光栅耦合器、两个硅基PN结光波导相移器以及一个GSG单驱动共面波导行波电极，所述硅基PN结光波导相移器为以硅材料形成的波导结构，至少两个硅基光波导中的中间一段由波导结构替代而成，所述GSG单驱动共面波导行波电极设置于硅基PN结光波导相移器上方并其平板区接触。本发明可以实现四通道的光分束和光合束，并可以实现光相位调制到光强度调制的转换，此外光纤与光栅耦合器是垂直耦合，具有耦合效率高、偏振相关损耗较低、对准容差能力强的优势。