[发明专利]链式滚涂装置及其应用

摘要

本发明公开了一种链式滚涂装置，包括涂液辊和同步轮；同步轮上设有安装孔，同步轮的外侧设有接近开关，同步轮上还设有可被接近开关感应的触发件；涂液辊通过连接轴与同步轮的安装孔装配；连接轴的轴主体配有支承其转动的转动支承装置，转动支承装置配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置；涂液辊的正上方还设有测距传感器。本发明链式滚涂装置，其能调节涂液辊和挤液辊的间距，可控制涂液辊对挤液辊的压入量，还能实现涂液辊与挤液辊脱离，避免因涂液辊在停机后还处于局部挤压状态而导致涂液辊变形严重，进而提高涂液辊的使用寿命，保证滚涂效果。本发明链式滚涂装置可应用于链式扩散工艺、链式吸杂处理工艺或激光掺杂SE工艺。