[发明专利]显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法在审
| 申请号： | 202110296943.3 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113061847A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王虎;许瑾;赵伟;曹方义;夏曾强;王宏宇;周小康;蔡明瀚;魏现鹤;艾经伟;张小庆 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹红敏 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法。本申请实施例的蒸镀装置包括蒸镀基台和蒸镀单元。蒸镀基台用于固定待蒸镀器件。蒸镀单元与蒸镀基台相对设置且能够沿第一方向移动，蒸镀单元包括用于在待蒸镀器件上蒸镀不同材料的第一蒸镀源和第二蒸镀源，第一蒸镀源和第二蒸镀源沿第一方向设置；在同一时刻，第一蒸镀源在待蒸镀器件上的第一蒸镀区域包括沿第一方向设置的第一部分和第二部分，第二蒸镀源在待蒸镀器件上的第二蒸镀区域与第二部分重叠；第二蒸镀区域和第二部分用于在待蒸镀器件上形成第一膜层，第一部分用于在第一膜层上形成第二膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 器件 装置 方法 | ||
【主权项】：
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