[发明专利]基于多物理场仿真的多喷头喷淋设备设计方法有效
| 申请号： | 202110297738.9 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN112989723B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李辉;申胜男;赖军浩;明瑞鉴 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G06F30/28 | 分类号： | G06F30/28;G06F111/04;G06F113/08;G06F119/14 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 郑勤振 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种基于多物理场仿真的多喷头阵列喷淋设备设计方法，包含如下步骤：S1.建立多喷头喷淋设备参数数据库、工艺参数数据库；S2.基于多喷头喷淋设备参数数据库，建立多喷头阵列喷淋设备几何模型；S3.应用仿真软件进行多物理场耦合仿真计算，基于工艺参数数据库设置流体参数和边界条件，耦合计算蚀刻液的流体场、温度场、浓度场结果；S4.分析耦合计算结果在特定高度范围上的数值分布，若误差在允许范围内，则进行S5，否则，返回S1步骤修改多喷头喷淋设备参数数据库；S5.建立不同的工艺参数数据库对应的多喷头喷淋设备参数数据模型。本发明提供的方法基于数值仿真方法，能够显著降低设备的设计成本以及设计周期。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 物理 仿真 喷头 喷淋 设备 设计 方法 | ||
【主权项】：
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