[发明专利]一种基于电容性超材料结构的人工表面等离激元的微流控检测芯片结构及其制备、检测方法有效
| 申请号： | 202110298787.4 | 申请日： | 2021-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN113058668B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张翼飞;凌昊天;宋爱民;王卿璞 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N21/59;G01N27/22 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨树云 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于电容性超材料结构的人工表面等离激元的微流控检测芯片结构及其制备、检测方法，包括由下自上依次生长的衬底层、具有电容性超材料结构的人工表面等离激元金属层、微流通道层。本发明将具有高电场束缚等特殊传播特性的人工表面等离激元与超材料相结合，利用人工表面等离激元的局域电场增强与流体和光方向一致性提升检测灵敏度，检测范围最大可0到10THz；利用人工表面等离激元上的电容性超材料进一步增强局域电场，利用超材料谐振峰强度和频率的移动来进行检测，提升了芯片的检测灵敏度，检测范围在0到10THz之间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电容 材料 结构 人工 表面 离激元 微流控 检测 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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