[发明专利]一种抗烧蚀ZrC/SiC多层交替涂层及制备方法在审
申请号: | 202110298863.1 | 申请日: | 2021-03-20 |
公开(公告)号: | CN113106416A | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 李贺军;李博;姚西媛;张雨雷 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | C23C16/32 | 分类号: | C23C16/32;C23C16/02;C23C16/52 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 王鲜凯 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种抗烧蚀ZrC/SiC多层交替涂层及制备方法,通过SiC和ZrC的多层交替可以有效调控涂层与基体、涂层与涂层之间的热膨胀差异。同时,多层交替涂层的可设计性强,可以通过调整SiC和ZrC层的厚度和层数来更好地实现涂层与基体的热应力匹配。另一方面,多层复合后会存在大量的层间界面,可以使得裂纹在扩展过程中发生偏转或终止,从而减少贯穿性裂纹的产生。综上,本发明提出的涂层可有效提高抗烧蚀性能,更好地保护基体。 | ||
搜索关键词: | 一种 抗烧蚀 zrc sic 多层 交替 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的