[发明专利]一种跨尺度微纳结构激光制造检测系统及控制方法有效
| 申请号： | 202110299282.X | 申请日： | 2021-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN113091606B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 赵天云;唐晓炜;孟卫刚;万瑞 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 | 代理人： | 刘新琼 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种跨尺度微纳结构激光制造检测系统及控制方法，包括可编程SoC主控芯片、激光发生器、光子转换器、显示交互平台、压电控制器和微纳米平移台；微纳米平移台承载微纳结构，通过压电控制器由主控芯片实现位移控制，由激光发生器产生激光完成制造和检测，并通过光子转换器实现检测结果读取；检测控制方法能实现三种模式在线检测控制；本发明构建了一套效率较高、成本较低和有较高良品率的跨微纳尺度激光制造检测控制系统，弥补了当前跨尺度微纳结构制造在纳米精度在线检测方面的不足，对微纳结构的良品率进行有效的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 结构 激光 制造 检测 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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