[发明专利]一种物镜波像差检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 202110302284.X | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113049228B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;唐锋;王向朝;卢云君;刘洋;魏相宇;曹译莎;彭常哲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种物镜波像差检测装置及检测方法，该物镜波像差检测装置包括波前检测系统、平面镜、平面镜调节机构，被测物镜置于平面镜与波前检测设备之间；平面镜置于被测物镜焦点处。由波前检测系统发出的测试波前通过被测物镜，经平面镜反射后再次通过被测物镜，被波前检测系统接收并检测得出其相位分布，调整平面镜倾斜状态以获得不同的返回波前，选择用于表达波像差的多项式，并计算其与每个返回波前相对应的表达式，便可以通过多项式拟合的方法得到待测物镜波像差以所选多项式进行表达的拟合结果。本发明具有结构简单，成本低，可检测物镜NA不受系统零部件制约的特点，并且所得待测物镜波像差拟合结果的误差有望低于10％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物镜 波像差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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