[发明专利]一种非对称电极MSM结构氧化镓紫外探测器

摘要

本发明涉及一种非对称电极MSM结构氧化镓紫外探测器，以解决现有肖特基势垒型MSM结构的氧化镓基紫外探测器中肖特基结面积与光入射面积互相制约的问题。该探测器包括衬底、氧化镓层、石墨烯层、阳极电极、阴极电极、介质增透层。氧化镓层位于衬底上表面；石墨烯层和阴极电极均位于氧化镓层上表面，且石墨烯层与阴极电极不接触；石墨烯层与氧化镓层形成异质结；阴极电极与氧化镓层形成肖特基接触；阳极电极位于石墨烯层上表面，并与石墨烯层形成欧姆接触；阳极电极与阴极电极形成叉指结构；介质增透层位于衬底、氧化镓层、石墨烯层所形成整体的外表面，介质增透层上设有电极窗口，阳极电极和阴极电极从所述电极窗口伸出。