[发明专利]一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统及方法

摘要

一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统及方法，系统包括光纤阵列激光器，由每根光纤与对应的激光二极管LD耦合后形成，所述光纤若干排；激光器控制板，与光纤阵列激光器中的每个激光二极管LD连接；光学处理及相机单元，用于缩小或放大光纤阵列激光器发出的光斑和确定待光刻的PCB板的位置；驱动单元，用于驱动光学处理单元及相机单元中的各部件在相应的轴上来回移动；平台控制器，与所述的驱动单元的受控端连接；计算机，分别与激光器控制板、平台控制器、光学处理单元及相机单元实现双向通信。本发明使用光纤阵列激光器，可以通过多种波长的激光二极管LD，并无限增加激光二极管LD数量解决高能量的问题。