[发明专利]低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统有效
| 申请号： | 202110305595.1 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN112987077B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 李运杰;莫丹;胡正国;袁平;段敬来;姚会军;刘杰;王彦瑜;武军霞;张建川 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G01T7/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 刘美丽 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统，该系统包括：离子束探测单元，被配置为对离子束流强信号进行探测；数据采集与连锁单元，被配置为对采集的离子束流强信号进行数据分析与自平衡判断，实现被连锁设备的连锁及离子束流强调节，使核孔膜生产终端达到正常生产的流强条件；数据显示存储单元，被配置为获取所述数据采集与连锁单元信号，对核孔膜生产终端的数据和状态信息进行存储和显示。本发明可以实现低能量流强的探测，解决核孔膜生产时的流强探测不准的问题，实现束流流强的自平衡调节，并配合实现其它的生产联动。 | ||
| 搜索关键词： | 低能 离子束 探测 平衡 连锁 控制系统 | ||
【主权项】：
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