[发明专利]制造蒸镀掩模的金属板及其制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和具备其的蒸镀掩模装置有效
申请号: | 202110306778.5 | 申请日: | 2018-11-13 |
公开(公告)号: | CN113061843B | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 池永知加雄;初田千秋;冈宏树;松浦幸代;冈本英介;牛草昌人 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王博;庞东成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和具备其的蒸镀掩模装置。为了制造蒸镀掩模而使用的金属板具有30μm以下的厚度。通过利用EBSD法测定出现在金属板的截面中的晶粒并对测定结果进行分析而算出的晶粒的平均截面积为0.5μm |
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搜索关键词: | 制造 蒸镀掩模 金属板 及其 方法 具备 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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