[发明专利]一种大面积转移石墨炔薄膜的方法有效
| 申请号： | 202110308552.9 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN112978711B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 张跃;王利华;张铮;黄梦婷;刘璇;陈匡磊;高丽;于慧慧;洪孟羽;汤文辉 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C01B32/15 | 分类号： | C01B32/15 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 朱艳华 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大面积转移石墨炔薄膜的方法，涉及二维材料生长之后、器件制备之前的材料转移工艺，包括：将经过氧等离子反应刻蚀减薄的铜箔上的石墨炔薄膜匀上聚甲基丙烯酸甲酯，置于饱和氯化铁溶液中反应刻蚀；使用洁净的硅片将附有聚甲基丙烯酸甲酯的石墨炔薄膜从饱和氯化铁溶液中捞出，去离子水中清洗，以目标基底将所述石墨炔薄膜再次捞出；热板加热烘干，继续加热使石墨炔薄膜与目标基底紧密贴合，置于丙酮溶液中加热去胶，用镊子从丙酮溶液中捞出迅速放入异丙醇溶液中清洗，再捞出用氮气吹干。本发明操作简单，容易实现铜箔上石墨炔薄膜的完全转移，得到的石墨炔薄膜比较洁净，解决了石墨炔薄膜难以从铜箔上大面积定向转移下来的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 转移 石墨 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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