[发明专利]保护膜形成膜、保护膜形成用复合片、及带保护膜形成膜的工件的运送方法在审
| 申请号： | 202110312454.2 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113444271A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 小桥力也 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | C08J5/18 | 分类号： | C08J5/18;C08L33/08;C08L63/00;C08K3/36;C08K3/22;C08K3/04;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
通过将多片本实施方式的保护膜形成膜层叠，制作宽度4mm、厚度200±20μm的试验片，并保持所述试验片，以频率11Hz的拉伸模式、升温速度3℃/分钟的测定条件，测定所述试验片的储能模量，将所述试验片的温度为70℃时的储能模量设为E’ |
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| 搜索关键词： | 保护膜 形成 复合 工件 运送 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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