[发明专利]基于氧掺杂的Sb2

摘要

本发明提供一种基于氧掺杂的Sb2Te3相变材料、相变存储器及制备方法，属于微纳电子技术领域，其采用简单的掺杂工艺实现对Sb2Te3的微观结构及器件特性进行全面调控的方法及其应用，在Sb2Te3相变层中形成“壳‑核”微观结构，其中，非晶低热导率的“壳层”晶界起到类似于异质界面的作用，对发生相变的晶粒也即“核”部进行物理隔断，并起到热阻作用，改善电热利用效率，降低RESET功耗。其中，非晶壳层晶界阻隔Sb2Te3晶粒在相变过程中的原子迁移，提高器件的可靠性及循环擦写次数。同时，掺杂元素与核部相变材料元素成键，可有效提高相变材料的非晶稳定性，以上方面综合作用，能全方位地改善器件的综合性能。