[发明专利]一种飞秒激光加工光响应液晶弹性体梳齿的装置和方法有效
申请号: | 202110313739.8 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN113084363B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 仇旻;王勇;吕久安;李云龙;耿娇;石理平;刘峰江 | 申请(专利权)人: | 西湖大学 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/046;B23K26/067;B23K26/02;B23K26/06;B23K26/0622 |
代理公司: | 杭州知闲专利代理事务所(特殊普通合伙) 33315 | 代理人: | 黄燕 |
地址: | 310024 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种飞秒激光加工光响应液晶弹性体梳齿的装置,包括:提供飞秒激光的飞秒激光器;用于对飞秒激光功率大小进行调整的功率调节元件;对飞秒激光光束大小进行调整的光束调节元件;对调节好光束大小和功率大小的激光分别进行扩束和聚焦操作的扩束元件和聚焦元件;以及用于对待加工光响应液晶弹性体薄膜样品进行定位,并实现对待加工样品三维方向的移动三维定位机构。本发明具有非接触、高精度、均匀性好和热影响区小等优点,在制备微米级光响应液晶弹性体梳齿方面具有广阔应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 加工 响应 液晶 弹性体 梳齿 装置 方法 | ||
【主权项】:
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