[发明专利]一种微观表面形貌测量装置及方法有效
| 申请号： | 202110313840.3 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN112985251B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 郭贵中;侯树森;付欢;李晓堃;李峥 | 申请（专利权）人： | 新乡学院 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 王聚才 |
| 地址： | 453003 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种微观表面形貌测量装置及方法。本发明包括音叉式石英晶振和粘贴在音叉式石英晶振振臂内侧的尖状物所组成的探测头、扬声器，采用音叉式石英晶振作为基本距离探测器件，晶振顶端在最优位置安装尖状物以增强相互作用力，提高距离分辨率并且对振臂间隙，振臂长，叉指宽度，叉指厚度关系提供了更优解；加外部扬声器作为高度调谐件，对音叉高度进行微调，可以使样品在高度不变的情况下，直接提取音叉与样品间的距离信号，另外，整体装置使用的器件都是便宜的非光学器件，性价比高，适合大面积的推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微观 表面 形貌 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新乡学院，未经新乡学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110313840.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
