[发明专利]压电薄膜、压电薄膜元件和压电转换器在审
| 申请号： | 202110314397.1 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113451501A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 森下纯平 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;C04B35/01;C04B35/26;C04B35/453;C04B35/46;C04B35/48;C04B35/50;C04B35/505;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/28;C23C14/30;C23C14/34;C23C1 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;吕秀平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种压电薄膜，其包含具有钙钛矿结构的氧化物，压电薄膜包含上述氧化物的正方晶1和上述氧化物的正方晶2，正方晶1的(001)面在压电薄膜的表面的法线方向上取向，正方晶2的(001)面在压电薄膜的表面的法线方向上取向，正方晶1的(001)面的间隔为c1，正方晶1的(100)面的间隔为a1，正方晶2的(001)面的间隔为c2，正方晶2的(100)面的间隔为a2，c2/a2大于c1/a1，正方晶1的(001)面的衍射X射线的峰强度为I |
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| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 转换器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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