[发明专利]一种基于射频电源的CO2 在审
申请号: | 202110315003.4 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN113075894A | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 唐化江;郑义军;谭荣清;刘俊曦;李辉;宁方晋;孙科;黄文武;钟艳红 | 申请(专利权)人: | 中国科学院空天信息创新研究院 |
主分类号: | G05B19/042 | 分类号: | G05B19/042 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 张乾桢 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明涉及一种基于射频电源的CO |
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搜索关键词: | 一种 基于 射频 电源 co base sub | ||
【主权项】:
暂无信息
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