[发明专利]一种基于蓝宝石衬底的AlON矩形纳米阵列及其制备方法有效
申请号: | 202110315304.7 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN113120856B | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 岳文凯;李培咸;李智敏;周小伟;吴金星;王燕丽 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | B81B7/04 | 分类号: | B81B7/04;B81C1/00;H01L21/02 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于蓝宝石衬底的AlON矩形纳米阵列及其制备方法,该制备方法包括步骤:S1、在蓝宝石衬底的表面进行氮离子注入;S2、对经过氮离子注入的蓝宝石衬底进行退火处理,形成AlON矩形纳米阵列框架;S3、在AlON矩形纳米阵列框架上生长AlN;S4、对AlN进行原位高温退火,形成AlN高温保护层和AlON矩形纳米阵列,其中,AlON矩形纳米阵列嵌入蓝宝石衬底,AlN高温保护层位于AlON矩形纳米阵列上和蓝宝石衬底上;S5、在AlN高温保护层上制备HVPE‑AlN保护层。该制备方法制备得到了一种既保证蓝宝石衬底表面原子级光滑平整又可以稳定提升AlN材料质量和衬底出光效率的微/纳米结构蓝宝石图形化衬底。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 蓝宝石 衬底 alon 矩形 纳米 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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