[发明专利]一种变速率深冷装置、深冷处理设备和方法

摘要

本公开涉及一种变速率深冷装置、深冷处理设备和方法，变速率深冷装置包括：深冷工件台，用于放置待冷却的工件；第一深冷机构，包括一个或者多个深冷喷头；第二深冷机构，包括一敞口的深冷室，以及设置于所述深冷室内的冷却管道，所述冷却管道用于流经冷却介质以对所述深冷室进行冷却；转移部件，包括延伸至所述深冷室的转移轨道，所述深冷工件台移动地连接于所述转移轨道。上述的变速率深冷装置、设备和深冷处理方法将工件在第一深冷机构处通过深冷喷头喷淋冷却介质冷却至指定温度后，可以通过控制深冷喷头的喷淋参数实现对工件的冷却速度的控制，以改变工件的冷却速率。