[发明专利]一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器有效
| 申请号： | 202110316984.4 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113108902B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 涂学凑;邵智豪;陈健;苏润丰;贾小氢;赵清源;张蜡宝;康琳;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 封睿 |
| 地址： | 210093 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器，包括第一硅基衬底和第二硅基衬底，所述第一硅基衬底的正面设置天线耦合的六氮五铌薄膜微测热辐射计，背面沉积金层；所述第二硅基衬底背面设置周期排布的口字型超材料阵列，与第一硅基衬底正面相对形成空气腔，通过调节空气腔的长度，实现太赫兹探测器谐振频率的调节。本发明使用超材料，通过仿真设计可以实现特定频率的谐振特性，通过改变空气腔间隔可以调节太赫兹探测器的谐振频率，并且结构简单，制备方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 材料 调谐 赫兹 探测器 | ||
【主权项】：
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