[发明专利]调节方法及装置、检测设备、可读存储介质及检测系统在审
| 申请号： | 202110319150.9 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113049599A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;白园园;马砚忠;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01;G01B11/06;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 邵泳城 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种调节方法及装置、检测设备、可读存储介质及检测系统。调节方法包括：调节光束质量分析仪的高度，使照射至光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离；根据第一中心和第二中心的相对位置，调节位于检测光路及\或泵浦光路的偏摆镜的偏摆角度和\或俯仰角度，使第一中心与第二中心重合；及根据测量到的光束质量分析仪的高度，调节承载样品的承载台的高度，使样品的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。本申请可以使得照射在样品的表面的泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心重合，可以较好地对样品进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 方法 装置 检测 设备 可读 存储 介质 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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