[发明专利]像素阵列、具有像素阵列的影像感测器及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202110319551.4 申请日: 2021-03-25
公开(公告)号: CN114464633A 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 周育晴;邓雅骏 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种像素阵列、具有像素阵列的影像感测器及其制造方法,像素阵列可包括金属屏蔽结构,此金属屏蔽结构在像素阵列中的像素感测器之间的栅格结构上。金属屏蔽结构横向地自栅格结构向外延伸以反射入射光的光子,否则此些光子可能会在栅格结构与像素阵列中的像素感测器的隔离结构之间行进。金属屏蔽的横向延伸反射了此些光子以减少相邻像素感测器之间的串扰,借此提高像素阵列的效能。
搜索关键词: 像素 阵列 具有 影像 感测器 及其 制造 方法
【主权项】:
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