[发明专利]基于过膜压强测试的薄膜力学强度表征方法及装置有效
申请号: | 202110319895.5 | 申请日: | 2021-03-25 |
公开(公告)号: | CN113218772B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 侯旭;雷津美;樊漪 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | G01N3/12 | 分类号: | G01N3/12;G01N3/02 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 张松亭;陈淑娴 |
地址: | 361000 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了基于过膜压强测试的薄膜力学强度表征方法,是以多孔材料为载体,使待测薄膜承载于载体的第一表面上,将承载有待测薄膜的载体置于一密闭通道中,于密闭通道靠近第二表面的一侧通入流体,检测流体通过载体并破坏待测薄膜时的过膜压强。本发明还提供了原位薄膜力学强度表征方法及装置。本发明针对力学强度较低的薄膜难以采用常规方式检测的问题,利用限域空间压力测试的方式,能够实现较低力学强度薄膜的检测,测试方法可靠,稳定性强,得到的数值具有可比性。 | ||
搜索关键词: | 基于 压强 测试 薄膜 力学 强度 表征 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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